雙線法測電阻與四線法測電阻

半導體生產(chǎn)工藝中有很多重要的參數(shù)都和電阻有關，所以就對阻值的測量要求非常精密。本文就對兩線法測電阻和四線法測電阻做一個簡單介紹。
電阻測試的通常原理是恒流測壓，測量儀器產(chǎn)生恒定數(shù)值的測量電流I，通過兩根測量引線分別接觸待測量的電阻R_t的兩端電極。當電流I流過待測電阻R_t時，測得R_t上產(chǎn)生電壓U_t。測量儀器測得電壓進而計算出電阻阻值R_t=U_t/I。但這之中產(chǎn)生了另外一個問題，就是引線也是有電阻的。在測量阻值微小電阻的時候，引線上的電阻不能忽略不計，會對最后的測量結果產(chǎn)生影響。測試結果就變?yōu)镽_t=(U_t+2U_r)/I。如圖1。
 

   
圖1

而采用四線測量時，由于四條引線分別形成電流回路和電壓測試回路，電壓測量回路的阻抗高，流過的電流可以忽略不計，電壓測試回路的引線幾乎沒有電流，所以最終測得的電壓即是待測電阻上的電壓R=U/I。如圖2。

  
圖2